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        一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的软件设计

        来源真空技术网www.ismp.tw钢研纳克检测技术有限公司作者李凯

        结合上述系统结构图采用Keil C 软件实现本测量和控制系统的功能具体的软件流程图如图7 所示

        一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的软件设计

        图7 软件流程图

        基本流程如下

        ?#31995;?#23545;AD 采集电路和CAN控制器等外设进行初始化完成后进行规管判别若是低规直接启动AD 转换若是高规则需要在一定的真空级别下才能启动为此根据低规的真空值来判别是否开启高规满足真空值后开启高规进行AD 转换将AD 转换的结果进行数据处理并将结果分别通过CAN 通讯口和串口发送CAN 通讯口一方面传输真空值至上位机另一方面根据数据处理结果将控制指令发送至其他单元或上位机实现单元间的级联控制和整机的流程控制

        本文的控制主要包括两个方面一个是高真空规即?#22235;?#35268;的自动开启与关断另一个是仪器单元之间的级联控制

        1高规的自动启停

        由于?#22235;?#35268;的测量?#27573;?#20026;100Pa~10-7 Pa为此?#22235;?#35268;开启的时候压强值必须小于等于100Pa同时 当压强值高于100Pa 时必须关断?#22235;?#35268;以保护其不受损害四极杆质谱仪的四极杆单元(即文中的腔室3)处于离子传输单元即腔室2之后其真空值低于腔室2

        针对以上特点本文将腔室2 的真空值作为开启与关断?#22235;?#35268;的条件当检测到腔室2的真空值低于5×10-2 Pa 时开启?#22235;?#35268;当腔室2的真空值高于10-1 Pa 时关断?#22235;?#35268;?#28304;?#26469;保护?#22235;?#35268;

        2仪器单元间的级联控制

        四极杆质谱仪在正常工作时各腔室的真空度达到并稳定的控制在预定?#27573;?#20869;而当有离子源熄火真空泄露等异常出?#36136;保?#38656;要进行错误报警并做出相应的处理以保护分子泵电子?#23545;?#22120;射频电源等敏感设备

        例如在工作状态时当检测腔室1 的真空度值高于500Pa 时即视为有异常本系统会向气路单元透镜控制系统单元和射频电源控制单元发出指令关断气路电子?#23545;?#22120;高压和射频电源以保护仪器;另外本系统会根据腔室2的真空值来控制分子泵单元的开启与关断当腔室2 的真空值小于等于1Pa 时向分子泵单元发送指令启动分子泵当腔室2 的真空值大于1Pa时向分子泵单元发送指令关断分子泵

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        http://www.ismp.tw/vacuum-measure/mass-spectrum/067128.html

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