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        一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的系统结构图

        来源真空技术网www.ismp.tw钢研纳克检测技术有限公司 作者李凯

          本测量和控制系统采用的结构如图2 所示主要由ARM 微控制器、ADC 采集电路、CAN 通讯接口、HM-TRP 无线收发模块、上位机和真空规组成。

          四极杆质谱仪对真空度的要求为接口部分真空度?#27573;?#20026;200Pa~ 大气压离子传输部分的真空度为10-2 Pa 左右四极杆部分的真空度为10-4 Pa~10-6 Pa 左右。根据以上要求选用了瑞士英福康公司的皮拉尼规和?#22235;?#35268;皮拉尼规的测量?#27573;?#20026;大气压至10-2 Pa ?#22235;?#35268;的测量?#27573;?#20026;100Pa~10-7 Pa其中接口部分和离子传输部分用皮拉尼规四极杆部分?#38376;四?#35268;。

        一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的系统组成

        图2 系统结构图

          系统工作流程如下ADC 采集电路采集安装在接口、离子传输和四极杆部分的真空规的模拟输出值并在ARM 微控制器的控制下根据真空度转换公式将其转换为真空值一方面通过CAN通讯接口将真空值上传至PC 机显示另一方面通过RS232 模块和无线收发模块将真空值发送到显示终端显示。

          同时控制器根据真空值及内部识别电阻的端电压值实现接口、离子传输、四极杆三个部分的真空规类型的识别及三个真空规的级联控制并通过CAN 通讯接口来实?#21046;?#20182;单元部件的级联控制和整机的流程控制。

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          http://www.ismp.tw/vacuum-measure/mass-spectrum/067126.html

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