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        多功能真空校准装置

        来源真空技术网www.ismp.tw上海卫星装备研究所作者彭光东

        为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要研制了多功能真空校准装置该装置可用于进行热偶真空计压阻规电容薄膜真空规潘宁规热阴极电离规等真空测量传感器的校准同时也可以用于渗?#24863;?#30495;空漏孔的校准装置选用静态比对法动态比对法质谱比对法设计建成真空校准范围为1.33×105 Pa1×10-4 Pa真空漏孔校准范围为5×10-55×10-9 Pa·m3/s装置智能化水平高操作简便适合真空规管的批量校准

        随着我国空间科学技术的发展真空测量技术也得到长足进步?#21387;?#27867;应用在航空航天电气电子石油化工等行业特别是我国载人飞船登月工程火星探测等一系列国防新领域的飞速发展对真空测量提出了更高的要求相应的高精度高可靠性的真空计量校准需求也应运而生

        传统的实验室真空校准装置大多系?#25104;?#35745;复杂研制费用高校准耗时长无法满足航天器研制任务的需要本文研制了一套多功能真空校准装置该装置选用静态比对法动态比对法以及质谱比对法的校准原理研制而成通过设计不同量程的电容薄膜规组成标准规组的方法解决了单一标准规在满量程范围内精度偏差的问题装置具有操作简易自动化程度高可批量校准等特点装置校准范围既覆盖了航天领域主要真空校准需求又具有研制成本低综合性价比高的优点

        1校准装置设?#35889;?#25104;

        极限真空度比设计指标提高了一个数量级真空校准范围也有一定的拓宽选用的无油多级真空抽气系统解决了装置长时间工作可凝物污染的问题多功能真空校准装置因其简便易于操作可大批量校准等特点在提高航天设备可靠性和产品质量方面起到了很好的促进作用为我国国防科学技术的发展提供了基础设施保障

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        http://www.ismp.tw/systemdesign/067125.html

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