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        多功能真空校准装置的主要性能指标

        来源真空技术网www.ismp.tw上海卫星装备研究所作者彭光东

        1极限真空度

        高真空校准室极限真空度9.3×10-8 Pa下游室极限真空度1.1×10-8 Pa低真空校准稳压室极限真空度4.2×10-7 Pa

        2校准真空室动态真空度稳定性能

        根据相关国家标准对本装置校准?#27573;?#20869;的校准室在进行动态比对校准时的真空度稳定性能进行检测从133kPa9.5×10-5 Pa ?#27573;?#20869;选择20 个压力点每个检测点停留5 分钟测试结果表明在133kPa9.5×10-2 Pa ?#27573;?#20869;稳定度可控制在2%以内 在9×10-2 Pa9.5×10-5 Pa ?#27573;?#20869;稳定度可控制在1%以内

        3系统不确定度分析

        综合考虑GP370 离子规的不确定度指标和校准装置的固有特性系统装置标准不确定度为4.2%数据处理引入的不确定度为0.5%整个装置的合成不确定度为4.3% 扩展不确定度为8.6%

        多功能真空校准装置的主要性能指标为真空技术网首发转载请以链?#26377;?#24335;标明本文首发网址

        http://www.ismp.tw/systemdesign/067124.html

        与 真空系统 多功能真空校准装置 相关的文?#34385;?#38405;读

        真空系统http://www.ismp.tw/systemdesign/

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