• <listing id="dpw2y"></listing>

    <label id="dpw2y"></label>

      <tt id="dpw2y"></tt>

        常用真空泵的工作原理图(1)

        来源真空技术网www.ismp.tw真空技术培训讲座 作者admin

                    真空泵要求?#29992;?#23553;容器中高速高效地排除气体?#28304;鏥讲?#29983;,改善和维持真空的目的。其工作原理可以分为机械,物理和化学方式。根据要达到的真空度不同,常常需要2种以上的真空泵相组合。

           代表的真空泵

            ?#20445;?#26059;转式机械泵

            ?#29627;?#20998;子泵┌圍唯丕

            ?#24120;?#31163;子泵

            4Ti升华泵

            5低温泵

            曾经被广泛使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用。

        旋转式机械泵

            以油封式真空泵为例加以介绍。

            构造偏心轴转子,固定翼,油。旋转动力是电机。

             原理转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。

           特征

            排气能力由压缩比决定,可达0.1Pa程度。操作简单。可?#28304;?#22823;气压状态下启动。油要蒸发。

            为了避免油或其它液体进入真空腔内,不用油或其它液体的干式真空泵正在成为主要的旋转式机械泵。

        旋转式机械泵

         分子泵TMP

            构造电机驱动的高速旋转叶片,泵壁上固定的固定叶片。

            原理每分钟旋转数万次的高速旋转叶片?#19981;?#27668;体分子,被?#19981;?#30340;气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上,最终被送到排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反,使分子难于逆行。这种排气方式,排气速度不因气体种类而变。

            特征

            不用油,工作环境清洁,可到达10-10Pa的真空度。排气速度不受气体种类影响。构造复杂,价格昂贵,高速旋转,要注意安装要求。有振动。需要和其它初段排气泵组合。

        分子泵

        离子泵   

            构造强磁铁,蜂窝状阳极,钛(Ti)阴极。

            原理?#21644;?#36807;溅射现象,使Ti离子化,Ti离子化学反应活性高。和气体分子反应之后生成化合物。

        一部分气体分子也离子化之后向阴极加速,使阴极的Ti被溅射后,一部分离子进入阴极内部。

            特征

            能达到超高真空(10-10Pa)

            需要和其它初段排气泵组合。

            有一定寿命。

        离子泵

        Ti升华泵 

            构造加热电阻丝、Ti材料(线或球)。

            原理?#21644;?#36807;加热电阻丝,使Ti升华。因为Ti化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。反应生成的化合物吸附在真空腔内壁上、从而达到降低气压的效果。如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上、则产生巨大的排气速度。比如1平方米的面积上吸附Ti原子的话、对氮气而言、可达到24000升/s的排气速度。 在压力较高时(>10-3Pa)、排气速度大大降低。因此需要和其他排气泵组合使用。

            特征

            排气速度大。

            没有运动部分,没有振动。

            需要和其它初段排气泵组合。

            有一定寿命。

        低温泵 

            构造冷冻机、液态He。

            原理利用气体在超低温表面凝结而达到排气效果。

            特征

            能达到超高真空(10-11Pa)

            排气速度快。

            安装方向不受限制。

          常用真空泵的工作原理图(1)为真空技术网首发转载请以链?#26377;?#24335;标明本文首发网址。

          http://www.ismp.tw/pumps/jixie/11361.html

          与 机械真空泵 旋转式机械泵 分子泵 TMP 离子泵 Ti升华泵 低温泵相关的文章请阅读

          机械真空泵http://www.ismp.tw/pumps/jixie/

        叫圭科同利

      1. <listing id="dpw2y"></listing>

        <label id="dpw2y"></label>

          <tt id="dpw2y"></tt>

          1. <listing id="dpw2y"></listing>

            <label id="dpw2y"></label>

              <tt id="dpw2y"></tt>